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氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正方法

更新時(shí)間:2021-10-18      點(diǎn)擊次數(shù):2300

      氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正方法
本文介紹的是氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正所需設(shè)備、基本原理已經(jīng)基本步驟。
、校正所需設(shè)備
1、100級潔凈房或潔凈臺
2一臺用于作對比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器
3、各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子 
4可產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類似裝置
5、標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器
6其它普通電器
、校正的基本原理
標(biāo)準(zhǔn)粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路,這時(shí),將兩臺相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi),認(rèn)為合格。如果不同型號的粒子計(jì)數(shù)器,一定要弄清楚其流速,取樣時(shí)間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。
.、校正的基本步驟:
現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正
1、首先,要清楚Royco 323HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM
2、將潔凈臺開機(jī),工作半小時(shí),其間內(nèi)也打開Royco 323Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3、準(zhǔn)備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
5、設(shè)置Royco323Royco HH200的基本參數(shù)
1取樣時(shí)間都設(shè)置為000100
2取樣次數(shù)都設(shè)置03
3取樣模式都設(shè)置為Auto
4間隔時(shí)間都設(shè)置為000005
5讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注:以上設(shè)置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH20010倍。
6、打開255電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后,保持其工作狀態(tài)。
7、Royco 323Royco HH200同時(shí)工作,看其三次的平均結(jié)果,若在20%以內(nèi),視為合格。
8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測試。
9以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。
 

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