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顆粒計數器的校正原理和方法

更新時間:2017-11-14      點擊次數:3699

顆粒計數器的校正原理和方法

校正的基本原理:

標準粒子通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體,并由其內置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內,認為合格。如果不同型號的粒子計數器,一要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數等參數,并且,還要明白怎樣理解其測試結果。 

校正的基本步驟:

現(xiàn)假設對一臺常見的Royco HH200作校正

1先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。

2、將潔凈臺開機,工作半小時,其間內也打開Royco 323和Royco HH200,讓其預熱半小時。

3、準備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。

4、將配好的標準液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。

5、設置Royco323和Royco HH200的基本參數

(1)取樣時間都設置為00:01:00

(2)取樣次數都設置03

(3)取樣模式都設置為Auto

(4)間隔時間都設置為00:00:05

(5)讀數模式都設置為Cumulative

注:以上設置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。

6、打開255電源,調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計約60SCFH時后,保持其工作狀態(tài)。

7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作,看其三次的平均結果,若在20%以內,視為合格。

8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標準粒子,重復該測試。

9、以上校正只是對比校正,尚用萬用表對其基本參數測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。

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